Vakuumli qoplama mashinasi - bu substrat yuzasiga yupqa metall plyonkalarni joylashtiradigan qurilma. Uning asosiy ish printsipi uch bosqichga bo'linadi: tozalash, bug'lanish va cho'kish.
1. Tozalash
Bug'lanishni cho'ktirishdan oldin bug'lanish kamerasini tozalash kerak. Bug'lanish kamerasining yuzasiga oksidlar, yog ', chang va boshqa moddalar biriktirilgan bo'lishi mumkinligi sababli, bu filmning sifatiga ta'sir qiladi. Tozalash odatda kimyoviy yoki fizik usullardan foydalanadi.
2. bug'lanish
Kerakli material erish nuqtasidan yuqori qizdiriladi, shunda u gazsimon molekulalarni hosil qiladi. Keyin gaz molekulalari vakuum kamerasida bug'lanish kamerasiga chiqariladi. Bu jarayon bug'lanish deb ataladi. Harorat, bosim va bug'lanish tezligi plyonkaning tarkibi, tuzilishi va xususiyatlariga ta'sir qiladi.
3. Depozit
Bug'lanish kamerasidagi materialning gazsimon molekulalari reaksiya kamerasiga vakuum trubkasi orqali kiradi, faol material bilan reaksiyaga kirishadi va keyin mahsulotni substrat yuzasiga yotqizadi. Bu jarayon sedimentatsiya deb ataladi. Harorat, bosim va cho'kish tezligi ham filmning sifati va ishlashiga ta'sir qiladi.
2. Ilova
Vakuumli qoplama mashinalari materialshunoslik, optika, elektronika va boshqa sohalarda keng qo'llaniladi.
1. Materialshunoslik
Vakuumli qoplama mashinalari turli metallar, qotishmalar, oksidlar, silikatlar va boshqa materiallardan yupqa plyonkalarni tayyorlashi mumkin va qoplamalar, optik plyonkalar, optik saqlash, displeylar, tranzistorlar va boshqa sohalarda keng qo'llaniladi.
2. Optika
Vakuumli qoplama mashinasi yuqori aks ettiruvchi metall va qotishma plyonkalarni va maxsus funktsiyalarga ega optik plyonkalarni tayyorlashi mumkin. Ushbu plyonkalar quyosh panellarida, yuqori samarali elektron mikroskoplarda, aerojellarda, UV / IR sensorlarida, optik filtrlarda va boshqa sohalarda qo'llanilishi mumkin.
3. Elektronika
Vakuumli qoplama mashinalari nano o'lchamdagi elektron materiallar va mikroelektron qurilmalarni tayyorlashi mumkin. Ushbu filmlar nanotransistorlar, magnit xotiralar, sensorlar va boshqa sohalarda qo'llanilishi mumkin.
Muxtasar qilib aytganda, vakuumli qoplama mashinasi nafaqat turli yupqa plyonkali materiallarni tayyorlashi, balki kerak bo'lganda maxsus funktsiyalarga ega nozik plyonkalarni ham tayyorlashi mumkin. Kelajakda vakuumli qoplama texnologiyasi yanada kengroq qo'llaniladi va targ'ib qilinadi.
Xabar vaqti: 2024-yil 12-mart